[实用新型]单晶硅生长炉的二次加料装置有效

专利信息
申请号: 202021232911.4 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN212771045U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 刘军波;牛照伦;王三朋 申请(专利权)人: 宁晋晶兴电子材料有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/02
代理公司: 北京市万慧达律师事务所 11111 代理人: 张一帆
地址: 055550 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开一种单晶硅生长炉的二次加料装置,包括石英筒和法兰,石英筒用以储料和卸料;法兰套设于所述石英筒的外侧,用以对所述石英筒限位,包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰,其中,所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈,当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时,所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述法兰定位在所述石英筒上。本实用新型提供的二次加料装置可消减如氢氧焊作业和抛磨车床作业等的多项生产环节,从而缩短生产周期,降低生产成本。
搜索关键词: 单晶硅 生长 二次 加料 装置
【主权项】:
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