[实用新型]单晶硅生长炉的二次加料装置

权利要求书

1.一种单晶硅生长炉的二次加料装置，其特征在于，包括：

石英筒，用以储料和卸料；

法兰，套设于所述石英筒的外侧，用以对所述石英筒限位，包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰，其中，所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述法兰定位在所述石英筒上。

2.根据权利要求1所述的二次加料装置，其特征在于，所述第一法兰和所述第二法兰的内壁上均开设有用以容纳所述胶圈的凹槽，所述凹槽至少为一条，所述胶圈与所述凹槽一一对应设置。

3.根据权利要求2所述的二次加料装置，其特征在于，所述凹槽内还设有垫圈，所述垫圈的两侧分别与所述凹槽和所述胶圈面接触。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的二次加料装置，其特征在于，所述胶圈为氟胶圈或硅胶圈。

5.根据权利要求3所述的二次加料装置，其特征在于，所述法兰的材质为聚四氟乙烯或不锈钢，所述垫圈为四氟垫圈。

6.根据权利要求1所述的二次加料装置，其特征在于，所述石英筒的外壁具有磨砂段，所述法兰通过所述胶圈固定于所述磨砂段。

7.根据权利要求1所述的二次加料装置，其特征在于，所述石英筒的底部设有用以与所述石英筒围构成硅料盛放区的石英锥，所述石英锥上设有延伸至所述石英筒内的连杆，所述连杆与所述石英筒同轴设置，所述连杆可在外力的驱动下带动所述石英锥做升降运动，以储料或卸料。

8.根据权利要求7所述的二次加料装置，其特征在于，所述石英筒的上部还设有定位盘，所述定位盘与所述连杆的顶端连接，以使所述连杆与所述石英筒同轴设置。

9.根据权利要求8所述的二次加料装置，其特征在于，所述定位盘的材质为聚四氟。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的二次加料装置，其特征在于，所述连杆的材质为钼。