[实用新型]单晶硅生长炉的二次加料装置

说明书

本实用新型公开一种单晶硅生长炉的二次加料装置，包括石英筒和法兰，石英筒用以储料和卸料；法兰套设于所述石英筒的外侧，用以对所述石英筒限位，包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰，其中，所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述法兰定位在所述石英筒上。本实用新型提供的二次加料装置可消减如氢氧焊作业和抛磨车床作业等的多项生产环节，从而缩短生产周期，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅的生产设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅生长炉的二次加料装置。

背景技术

单晶硅生长炉是生产单晶硅的拉晶装置，理论上拉晶过程仅采用一次加料的方式即可，即在熔料前一次性地往石英坩埚内加满硅料。但是现有单晶硅生长炉大多设计有用以节能的导流筒，因此，石英坩埚的上方必须留有一定的容纳空间，除此之外加料空间还受限于石墨加热器的高度，若要通过单次加料使石英坩埚的装硅料量接近容量是难以实现的，这无疑会降低产量，提高生产成本。

石英二次加料器的应用，大大地提高了石英坩埚的利用率，其具有节约电能、氩气和时间的特点，是提高单产、降低成本的有效途径。现有的石英二次加料器一般由以下部件构成：变径石英管、石英法兰、设于石英管上方的不锈钢法兰盘、设于石英管下方的石英锥，以及连接于法兰盘和石英锥之间的不锈钢连杆等部件组成。其中，石英法兰焊接于石英管的外壁，用以对石英管进行限位，此类结构的石英二次加料器在整体制作的时候需要对石英管下料，制作石英法兰，将石英法兰焊接于石英管上，接着再依次进行高温退火、二次焊接、打磨、整体火抛光、高温退火、清洗等多道工序；且在制作石英法兰的时候还需要进行成型粗磨、细磨、清洗、整体抛光、高温退火、清洗多道工序才能生产完成；其中的不锈钢部件加工更为繁琐，大约有二十五种以上的部件需要进行车、磨、焊接才能装配完成，整个生产周期长，生产成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中所述的缺陷，从而提供一种单晶硅生长炉的二次加料装置，该二次加料装置可消减如氢氧焊作业和抛磨车床作业等的多项生产环节，从而缩短生产周期，降低生产成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶硅生长炉的二次加料装置，包括：

石英筒，用以储料和卸料；

法兰，套设于所述石英筒的外侧，用以对所述石英筒限位，包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰，其中，所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述法兰定位在所述石英筒上。

作为一种可实施的方式，所述第一法兰和所述第二法兰的内壁上均开设有用以容纳所述胶圈的凹槽，所述凹槽至少为一条，所述胶圈与所述凹槽一一对应设置。

作为一种可实施的方式，所述凹槽内还设有垫圈，所述垫圈的两侧分别与所述凹槽和所述胶圈面接触。

作为一种可实施的方式，所述胶圈为氟胶圈或硅胶圈。

作为一种可实施的方式，所述法兰的材质为聚四氟乙烯或不锈钢，所述垫圈为四氟垫圈。

作为一种可实施的方式，所述石英筒的外壁具有磨砂段，所述法兰通过所述胶圈固定于所述磨砂段。

作为一种可实施的方式，所述石英筒的底部设有用以与所述石英筒围构成硅料盛放区的石英锥，所述石英锥上设有延伸至所述石英筒内的连杆，所述连杆与所述石英筒同轴设置，所述连杆可在外力的驱动下带动所述石英锥做升降运动，以储料或卸料。

作为一种可实施的方式，所述石英筒的上部还设有定位盘，所述定位盘与所述连杆的顶端连接，以使所述连杆与所述石英筒同轴设置。

作为一种可实施的方式，所述定位盘的材质为聚四氟。