[实用新型]一种扩散炉炉体有效

专利信息
申请号: 202021200499.8 申请日: 2020-06-26
公开(公告)号: CN212409398U 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 刘明利;迟公超 申请(专利权)人: 青岛赛尔微电子有限公司
主分类号: F27D1/12 分类号: F27D1/12;F25D17/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉炉体,解决了一般的扩散炉炉体在散热的过程中,散热效果较差,且需要的时间较长的问题,其包括炉体本体,所述炉体本体的炉壁内开设有冷却管道;本实用新型,通过设置的循环泵、箱体、制冷设备和冷却管道等的配合使用,通过循环泵将箱体内的水通过输水管输送到冷却管道内部,通过水的流动对炉体本体进行散热,然后通过回流管回到箱体内部,期间,通过制冷设备产生冷气对回流后的水进行冷却,能够快速的完成对炉体本体的散热过程,效果良好;通过设置的转盘、阀门、齿轮和链条等的配合使用,将冷却管道内的水通过短管后进入到汇总管内,然后进入到外接收集箱内部,从而完成对其的处理。
搜索关键词: 一种 扩散 炉炉体
【主权项】:
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