[实用新型]一种扩散炉炉体有效
申请号: | 202021200499.8 | 申请日: | 2020-06-26 |
公开(公告)号: | CN212409398U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 刘明利;迟公超 | 申请(专利权)人: | 青岛赛尔微电子有限公司 |
主分类号: | F27D1/12 | 分类号: | F27D1/12;F25D17/02 |
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地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 炉炉体 | ||
本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉炉体,解决了一般的扩散炉炉体在散热的过程中,散热效果较差,且需要的时间较长的问题,其包括炉体本体,所述炉体本体的炉壁内开设有冷却管道;本实用新型,通过设置的循环泵、箱体、制冷设备和冷却管道等的配合使用,通过循环泵将箱体内的水通过输水管输送到冷却管道内部,通过水的流动对炉体本体进行散热,然后通过回流管回到箱体内部,期间,通过制冷设备产生冷气对回流后的水进行冷却,能够快速的完成对炉体本体的散热过程,效果良好;通过设置的转盘、阀门、齿轮和链条等的配合使用,将冷却管道内的水通过短管后进入到汇总管内,然后进入到外接收集箱内部,从而完成对其的处理。
技术领域
本实用新型属于扩散炉技术领域,具体为一种扩散炉炉体。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
一般的扩散炉炉体在工作完成后,需要对其进行散热,但是一般的扩散炉炉体在散热的过程中,散热效果较差,且需要的时间较长。
发明内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种扩散炉炉体,有效的解决了一般的扩散炉炉体在散热的过程中,散热效果较差,且需要的时间较长的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种扩散炉炉体,包括炉体本体,所述炉体本体的炉壁内开设有冷却管道,炉体本体的顶端一侧固定安装有箱体,箱体的顶端固定安装有循环泵和制冷设备,循环泵的进水端与箱体的内部连通,循环泵的出水端固定连接有输水管,输水管的一端与冷却管道的内部连通,冷却管道的一端固定连接有回流管,回流管的一端与箱体的内部连通。
优选的,所述制冷设备的一端固定连接有输气管,输气管上开设有气孔,且输气管的一端固定安装于箱体的内部。
优选的,所述箱体的内部等距固定安装有隔板,箱体的一侧安装有盖体。
优选的,所述冷却管道的底部等距固定安装有短管,短管的底端固定连接有汇总管,汇总管的底端通过导管与外接收集箱连通。
优选的,所述短管的中部固定安装有阀门,阀门的中部固定安装有齿轮,齿轮之间通过链条传动连接。
优选的,其中一个所述阀门的一端固定安装有转盘,且转盘的外壁开设有防滑槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1)、在工作中,通过设置的循环泵、箱体、制冷设备和冷却管道等的配合使用,通过循环泵将箱体内的水通过输水管输送到冷却管道内部,通过水的流动对炉体本体进行散热,然后通过回流管回到箱体内部,期间,通过制冷设备产生冷气,然后通过输气管上的气孔进入到箱体的内部,对回流后的水进行冷却,由于箱体的内部等距固定安装有隔,能够延缓水的流动,延长对水的冷却时间,循环动作,能够快速的完成对炉体本体的散热过程,效果良好;
2)、在工作中,通过设置的转盘、阀门、齿轮和链条等的配合使用,通过转盘带动阀门转动,由于阀门上的齿轮之间通过链条传动连接,故能够同时打开多个阀门,冷却管道内的水通过短管后进入到汇总管内,然后进入到外接收集箱内部,从而完成对其的处理。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的箱体内部结构示意图;
图3为本实用新型的汇总管安装结构示意图;
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