[实用新型]一种扩散炉炉体有效
| 申请号： | 202021200499.8 | 申请日： | 2020-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN212409398U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 刘明利;迟公超 | 申请（专利权）人： | 青岛赛尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/12 | 分类号： | F27D1/12;F25D17/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉炉体 | ||
1.一种扩散炉炉体，包括炉体本体(1)，其特征在于：所述炉体本体(1)的炉壁内开设有冷却管道(2)，炉体本体(1)的顶端一侧固定安装有箱体(3)，箱体(3)的顶端固定安装有循环泵(4)和制冷设备(6)，循环泵(4)的进水端与箱体(3)的内部连通，循环泵(4)的出水端固定连接有输水管(16)，输水管(16)的一端与冷却管道(2)的内部连通，冷却管道(2)的一端固定连接有回流管(5)，回流管(5)的一端与箱体(3)的内部连通。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉炉体，其特征在于：所述制冷设备(6)的一端固定连接有输气管(7)，输气管(7)上开设有气孔(8)，且输气管(7)的一端固定安装于箱体(3)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉炉体，其特征在于：所述箱体(3)的内部等距固定安装有隔板(9)，箱体(3)的一侧安装有盖体。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉炉体，其特征在于：所述冷却管道(2)的底部等距固定安装有短管(10)，短管(10)的底端固定连接有汇总管(11)，汇总管(11)的底端通过导管与外接收集箱连通。
5.根据权利要求4所述的一种扩散炉炉体，其特征在于：所述短管(10)的中部固定安装有阀门(12)，阀门(12)的中部固定安装有齿轮(13)，齿轮(13)之间通过链条(14)传动连接。
6.根据权利要求5所述的一种扩散炉炉体，其特征在于：其中一个所述阀门(12)的一端固定安装有转盘(15)，且转盘(15)的外壁开设有防滑槽。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛赛尔微电子有限公司，未经青岛赛尔微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021200499.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
