[实用新型]一种自动化双面曝光机有效
申请号: | 202021181763.8 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN213023936U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 钱志斌;胥涛棚;张雷;李伟成 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B65G47/90;B65G47/248 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种自动化双面曝光机,其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置,其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件,位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统,所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧,依次移动至所述曝光系统进行曝光,所述翻转搬运组件翻转移动所述基件,所述转移搬运组件移动所述基件。本实用新型的第一台面和第二台面共用一个曝光系统,所述曝光装置呈直线形设置,配合转移搬运组件和翻转搬运组件,对第一台面和第二台面分别进行对位曝光,两个台面可以分别对基件的第一曝光面和第二曝光面进行对位曝光,互不干扰,曝光效率高,通过一个曝光系统一次流转完成基件的双面曝光。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动化 双面 曝光 | ||
【主权项】:
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