[实用新型]一种自动化双面曝光机

权利要求书

1.一种自动化双面曝光机，其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置，其特征在于，其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧，依次移动至所述曝光系统进行曝光，所述翻转搬运组件翻转移动所述基件，所述转移搬运组件移动所述基件。

2.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述转移搬运组件数量为两个，所述翻转搬运组件的数量为一个。

3.根据权利要求1或2所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件在所述上料装置和所述第一台面之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

4.根据权利要求1或2所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件在所述第二台面和所述下料装置之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

5.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括转轴，所述转轴两侧对称设置第一吸附组件和第二吸附组件。

6.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机还包括设置于侧边的滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件沿所述滑轨滑动。

7.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机包括相对设置的纵向滑轨，所述纵向滑轨自所述上料装置延伸至下料装置，所述纵向滑轨上设置有竖向滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件夹持在两个竖向滑轨之间，沿所述纵向滑轨移动。

8.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机在纵向上设置导轨，所述第一台面和所述第二台面在扫描方向移动时共用所述导轨。

9.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组和所述转移搬运组件与所述第一台面、曝光系统、所述第二台面并行位置，所述翻转搬运组件相对设置于所述第一台面和所述第二台面中间，所述转移搬运组件在所述第一台面、所述第二台面、所述翻转搬运组件之间移动基件。

10.根据权利要求9所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括两个夹持件，两个夹持件之间通过转动轴连接，两个夹持件夹持所述基件，自一侧翻转至另一侧。

11.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述上料装置、所述翻转搬运组件、所述转移搬运组件和所述下料装置呈直线形设置，平行于所述第一台面、曝光系统和第二台面。