[实用新型]一种晶圆切割用内冷式刀头结构

摘要

一种晶圆切割用内冷式刀头结构，包括刀柄、刀杆、保护壳、密封圈、刀头连接部、刀头本体、接口端、进水管、进水孔，刀柄下端固定连接有刀杆，刀杆底部固定连接有刀头本体，刀头本体外部设有保护壳，保护壳与刀头本体转动连接，其上、下与刀头本体的连接处分别设有密封圈，保护壳及刀头本体位于保护壳内的部分为中空结构，刀头本体的侧壁上开设有进水孔，保护壳侧壁上设有接口端，接口端通过法兰与进水管的一端固定连接，进水管的另一端与外部的循环水箱相连接。本实用新型可直接对刀头本体的中心位置进行降温，保证了降温工作的高效进行，不需要停工降温，提高了生产效率，并且内冷却式降温达到规定的降温标准所需冷却液较少，减少了冷却成本。