[实用新型]一种晶圆切割用内冷式刀头结构有效
| 申请号： | 202021139422.4 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN212859969U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王海军;薛佳勇;薛佳伟 | 申请（专利权）人： | 天津众晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 用内冷式 刀头 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆切割用内冷式刀头结构，其特征在于，包括刀柄、刀杆、保护壳、密封圈、刀头连接部、刀头本体、接口端、进水管、进水孔，所述刀柄下端固定连接有刀杆，所述刀杆底部固定连接有刀头本体，所述刀头本体底部设有刀头连接部，所述刀头本体外部设有保护壳，所述保护壳与刀头本体转动连接，其上、下与刀头本体的连接处分别设有密封圈，所述保护壳及刀头本体位于保护壳内的部分为中空结构，所述刀头本体的侧壁上开设有进水孔；
所述保护壳侧壁上设有接口端，所述接口端通过法兰与进水管的一端固定连接，所述进水管的另一端与设置在外部的循环水箱相连接。
2.按照权利要求1所述的一种晶圆切割用内冷式刀头结构，其特征在于，所述保护壳为圆柱形结构。
3.按照权利要求1所述的一种晶圆切割用内冷式刀头结构，其特征在于，所述进水孔的数量为N个，N≥1。
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