[实用新型]一种用于半导体芯片电镀的固定工装有效
申请号: | 202021083061.6 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212505115U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 邱敏雄;李盛伟;李蓝屏;王元锋;王元钊 | 申请(专利权)人: | 深圳中宝新材科技有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D17/06 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体芯片电镀的固定工装,包括托板,所述托板内开设有通口,所述通口内两侧对称设置有两组夹持组件,两组所述夹持组件包括第一夹板、第二夹板和螺纹杆,所述托板与通口之间开设有螺纹孔,所述螺纹杆转动安装于螺纹孔内,所述托板两侧对称安装有四组支撑组件,所述支撑组件包括固定块、固定座和套杆,所述固定块对称固定安装于托板两侧,所述固定块远离托板一侧通过第二弹簧与固定座固定连接,通过可以调整的支撑组件,能够适用于各种尺寸大小的电镀池,提升了电镀板的使用率,通过夹持组件,能够对芯片进行分层固定,在电镀过程中,不会发生位移,造成干涉,提高了芯片的电镀效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 电镀 固定 工装 | ||
【主权项】:
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