[实用新型]一种微形变压力传感器及装置有效
| 申请号： | 202021065587.1 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN212059194U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 吕垒;陆前军;吴先燕;何志强 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种微形变压力传感器及装置。该微形变压力传感器包括第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极；所述导电薄膜位于所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间；所述两个电极位于所述导电薄膜的两端，且分别与所述导电薄膜电连接。本实用新型实施例利用导电薄膜的微形变进行压力测量，解决了现有压力传感器形变量过大而导致压力测量存在误差的问题，使微形变过程实现为压力测量过程，保证了压力测量的准确度和精度，改善了压力测量的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形变 压力传感器 装置 | ||
【主权项】：
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