[实用新型]一种微形变压力传感器及装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种微形变压力传感器及装置。该微形变压力传感器包括第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极；所述导电薄膜位于所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间；所述两个电极位于所述导电薄膜的两端，且分别与所述导电薄膜电连接。本实用新型实施例利用导电薄膜的微形变进行压力测量，解决了现有压力传感器形变量过大而导致压力测量存在误差的问题，使微形变过程实现为压力测量过程，保证了压力测量的准确度和精度，改善了压力测量的灵敏度。

技术领域

本实用新型实施例微纳米半导体器件领域，尤其涉及一种微形变压力传感器及装置。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。

传统的压力传感器在受到外部压力后，会产生较大形变量，对于压力的大小和对于压力状态的判定影响较大，因此如何降低测试压力过程中的形变量就显得至关重要。

实用新型内容

本实用新型提供一种微形变压力传感器及装置，以降低压力测量过程中形变量过大产生的影响，提高压力测量精度。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种微形变压力传感器，包括第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极；

所述导电薄膜位于所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间；所述两个电极位于所述导电薄膜的两端，且分别与所述导电薄膜电连接。

可选地，所述第二刚性衬底朝向所述导电薄膜的一侧设置有多个凸起微结构。

可选地，所述导电薄膜的厚度为1nm至10μm。

可选地，所述凸起微结构的周期为100nm到10μm，高度为100nm到5μm。

可选地，所述凸起微结构为圆台状、多棱台状、平顶半圆状。

可选地，所述凸起微结构为类圆台状、类多棱台状、类平顶半圆状，所述凸起微结构的侧壁设置弧度。

可选地，所述弧度的隆起高度为1nm到1μm。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种微形变压力传感装置，包括如第一方面任一项所述的微形变压力传感器，还包括数字万用表；所述数字万用表的阳极和阴极分别与所述微形变压力传感器的两个电极电连接；

所述数字万用表用于测量所述微形变压力传感器的导电薄膜的电阻值。

可选地，所述微形变压力传感器装置还包括处理模块，所述处理模块与所述数字万用表电连接；

所述处理模块用于根据所述微形变压力传感器测量的电阻值，以及所述微形变压力传感器电阻值和压力的对应关系，计算所述微形变压力传感器所受压力。

本实用新型实施例提供的微形变压力传感器及装置，通过设置第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极，其中导电模块位于第一刚性衬底和第二刚性衬底之间，两个电极位于导电薄膜的两端，且分别与导电薄膜电连接，可以利用第一刚性基板和第二刚性基板对导电薄膜产生挤压力，从而使导电薄膜发生微形变，继而通过导电薄膜两端连接的电极，可以测算导电薄膜的电阻值，即可根据电阻值换算为压力值，从而实现压力的测量。本实用新型实施例提供的微形变压力传感器，利用导电薄膜的微形变进行压力测量，解决了现有压力传感器形变量过大而导致压力测量存在误差的问题，使微形变过程实现为压力测量过程，保证了压力测量的准确度和精度，改善了压力测量的灵敏度。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种微形变压力传感器的结构示意图；