[实用新型]一种微形变压力传感器及装置有效
| 申请号： | 202021065587.1 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN212059194U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 吕垒;陆前军;吴先燕;何志强 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 形变 压力传感器 装置 | ||
1.一种微形变压力传感器，其特征在于，包括第一刚性衬底、第二刚性衬底、导电薄膜和两个电极；
所述导电薄膜位于所述第一刚性衬底和所述第二刚性衬底之间；所述两个电极位于所述导电薄膜的两端，且分别与所述导电薄膜电连接。
2.根据权利要求1所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述导电薄膜的厚度为1nm至10μm。
3.根据权利要求1所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述第二刚性衬底朝向所述导电薄膜的一侧设置有多个凸起微结构。
4.根据权利要求3所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述凸起微结构的周期为100nm到10μm，高度为100nm到5μm。
5.根据权利要求3所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述凸起微结构为圆台状、多棱台状、平顶半圆状。
6.根据权利要求3所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述凸起微结构为类圆台状、类多棱台状、类平顶半圆状，所述凸起微结构的侧壁设置弧度。
7.根据权利要求6所述的微形变压力传感器，其特征在于，所述弧度的隆起高度为1nm到1μm。
8.一种微形变压力传感装置，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的微形变压力传感器，还包括数字万用表；所述数字万用表的阳极和阴极分别与所述微形变压力传感器的两个电极电连接；
所述数字万用表用于测量所述微形变压力传感器的导电薄膜的电阻值。
9.根据权利要求8所述的微形变压力传感装置，其特征在于，所述微形变压力传感器装置还包括处理模块，所述处理模块与所述数字万用表电连接；
所述处理模块用于根据所述微形变压力传感器测量的电阻值，以及所述微形变压力传感器电阻值和压力的对应关系，计算所述微形变压力传感器所受压力。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市中图半导体科技有限公司，未经东莞市中图半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021065587.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
