[实用新型]一种光刻机的取料装置有效
| 申请号： | 202021017596.3 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN213111459U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海阿巴拉电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周婷婷 |
| 地址： | 200136 上海市浦东新区中国(上海)自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光刻机的取料装置，属于光刻机技术领域；包括主连接臂；主连接臂下端嵌接有取料盘，取料盘底端开槽设置有对位槽口，对位槽口中部嵌入设置有夹头，夹头上端插接有主轴，主轴与夹头之间套接有轴承件；夹头上端中部嵌接有轴管，轴管中部贯穿设置有连接头，连接头与轴管转动连接，连接头与主轴固定连接，连接头下端螺纹连接有胶盘；主轴向主连接臂上端延伸，主轴顶端套接有套筒，主连接臂上端设置有连接轴节，连接轴节下端向主连接臂内侧延伸有轴头，连接轴节通过轴头与主连接臂过盈连接，该种光刻机的取料装置通过轴体间的传动来改变夹头与胶盘相对差距，进而方便该取料装置适应硅片大小规格，提高了该装置的适用性与实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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