[实用新型]一种光刻机的取料装置

权利要求书

1.一种光刻机的取料装置，包括主连接臂（1），其特征在于：

所述主连接臂（1）下端嵌接有取料盘（2），所述取料盘（2）底端开槽设置有对位槽口（7），所述对位槽口（7）中部嵌入设置有夹头（3），所述夹头（3）上端插接有主轴（8），所述主轴（8）与夹头（3）之间套接有轴承件（9）；

所述夹头（3）上端中部嵌接有轴管（15），所述轴管（15）中部贯穿设置有连接头（16），所述连接头（16）与轴管（15）转动连接，所述连接头（16）与主轴（8）固定连接，所述连接头（16）下端螺纹连接有胶盘（14）；

所述主轴（8）向主连接臂（1）上端延伸，所述主轴（8）顶端套接有套筒（10），所述主连接臂（1）上端设置有连接轴节（4），所述连接轴节（4）下端向主连接臂（1）内侧延伸有轴头（11），所述连接轴节（4）通过轴头（11）与主连接臂（1）过盈连接；

所述连接轴节（4）上端固定有轮节（5），所述轮节（5）左右两侧对称设置有一对凸轴（6），所述轮节（5）内侧背面贯穿设置有电机轴（13），所述电机轴（13）与套筒（10）之间设置有传动辊（12），所述传动辊（12）与电机轴（13）啮合，所述传动辊（12）下端与套筒（10）固定。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置,其特征在于：所述夹头（3）为锥孔盘结构，所述夹头（3）与取料盘（2）固定。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置,其特征在于：所述胶盘（14）为软胶质锥孔盘，所述胶盘（14）口径小于夹头（3）口径。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置,其特征在于：所述传动辊（12）与电机轴（13）之间呈直角啮合结构，所述传动辊（12）通过套筒（10）与主轴（8）传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置,其特征在于：所述电机轴（13）与轮节（5）连接处外侧固定连接有若干个角钢件。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置,其特征在于：所述凸轴（6）外边缘蚀刻有一圈凹槽，所述凸轴（6）与轮节（5）转动连接。