[实用新型]一种半导体光刻板清洗装置有效
| 申请号： | 202021006667.X | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212597355U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 韩波 | 申请（专利权）人： | 汉斯自动化科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于光刻板清洗技术领域，一种半导体光刻板清洗装置，其包括机壳；机壳顶端的中部设置有电机，电机的电机轴贯穿于机壳的内部，电机的电机轴末端固定有主动齿，机壳内部的顶端设置有轴承，轴承均匀设置有多组，轴承的底端安装有转杆，转杆的底端贯穿于机壳的底部，转杆的底端设置有清理布刷，转杆的外壁设置有从动齿；机壳底端的背侧固定有输液板，输液板的表面开设有出水孔，机壳内部的右侧设置有水泵，水泵的进水端连接有进水管，水泵的出水端连接有出水管。本实用新型机壳底部设置有出水机构和清理机构，可以对附着在光刻板杂质进行快速的清理，且清理机构采用电力驱动，起到快速清理的效果，提高清理光刻板表面的便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 刻板 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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