[实用新型]一种显微镜有效

专利信息
申请号: 202020998238.9 申请日: 2020-06-03
公开(公告)号: CN212062378U 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 李帅;何伟 申请(专利权)人: 聚束科技(北京)有限公司
主分类号: H01J37/28 分类号: H01J37/28;H01J37/26;G21K7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100176 北京市大兴区北京经*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种显微镜,包括:电子光学镜筒,用于发射扫描电子束;样品台,用于放置样品;靶材,可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间;驱动机构,所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动,所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置,所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本实用新型样品通过一次安装,完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。
搜索关键词: 一种 显微镜
【主权项】:
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