[实用新型]一种显微镜

说明书

本实用新型公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本实用新型样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。

技术领域

本实用新型属于电子设备技术领域，具体地说，涉及一种显微镜。

背景技术

扫描电子显微镜(SEM)，其利用聚焦的电子束来扫描样品,通过电子束与样品的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，扫描电子显微镜在观察材料表面形貌领域应用广泛。

纳米X射线显微镜(Nano-CT)是用X射线束对样品某部一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的X射线，转变为可见光后，由光电转换变为电信号，经过计算机处理后构成三维的CT图像。CT图像可体现样品的几何信息和结构信息等。前者包括样品的尺寸、体积和各点的空间坐标，后者包括样品的衰减值、密度和多孔性等材料学信息。

现有技术中，当同一件样品需要扫描电子显微镜(SEM)，又需要纳米X射线显微镜(Nano-CT)进行探测时，则需要将样品放置扫描电子显微镜中探测后，再将样品放置纳米X射线显微镜中探测，该过程探测效率慢，并且样品多次安装在相应的样品台上容易产生损坏的风险。

有鉴于此特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种显微镜，样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。

为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：一种显微镜，包括：

电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；

样品台，用于放置样品；

靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；

驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。

进一步的，还包括第一偏转装置，所述第一偏转装置设置于所述电子光学镜筒与所述靶材之间，用于改变入射到所述靶材前的所述电子束的运动方向。

进一步的，还包括安装座，所述安装座上设置有至少一个安装位，每个所述安装位用于安装不同的所述靶材。

进一步的，所述第一偏转装置与所述安装座连接，所述安装座与所述驱动机构连接。

在一些可选的实施方式中，所述安装座设置有冷却管路，用于对所述靶材进行冷却。

在一些可选的实施方式中，所述样品台下方设置有X射线探测器。

在一些可选的实施方式中，所述电子光学镜筒下端连接有真空腔室，所述样品台位于所述真空腔室内，所述样品台设置于所述电子光学镜筒下方。

进一步的，所述真空腔室对应于所述样品台下方设置有真空窗。

进一步的，所述真空窗下方设置有X射线探测器。

在一些可选的实施方式中，所述样品台通过升降机构与所述真空腔室连接，用于带动所述样品台在所述真空腔室内升降运动。

采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果。