[实用新型]一种显微镜有效
| 申请号： | 202020998238.9 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212062378U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;G21K7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显微镜 | ||
1.一种显微镜，其特征在于：包括：
电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；
样品台，用于放置样品；
靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；
驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。
2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于：还包括第一偏转装置，所述第一偏转装置设置于所述电子光学镜筒与所述靶材之间，用于改变入射到所述靶材前的所述电子束的运动方向。
3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：还包括安装座，所述安装座上设置有至少一个安装位，每个所述安装位用于安装不同的所述靶材。
4.根据权利要求3所述的显微镜，其特征在于：所述第一偏转装置与所述安装座连接，所述安装座与所述驱动机构连接。
5.根据权利要求3所述的显微镜，其特征在于：所述安装座设置有冷却管路，用于对所述靶材进行冷却。
6.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于：所述样品台下方设置有X射线探测器。
7.根据权利要求1-5任一项所述的显微镜，其特征在于：所述电子光学镜筒下端连接有真空腔室，所述样品台位于所述真空腔室内，所述样品台设置于所述电子光学镜筒下方。
8.根据权利要求7所述的显微镜，其特征在于：所述真空腔室对应于所述样品台下方设置有真空窗。
9.根据权利要求8所述的显微镜，其特征在于：所述真空窗下方设置有X射线探测器。
10.根据权利要求7所述的显微镜，其特征在于：所述样品台通过升降机构与所述真空腔室连接，用于带动所述样品台在所述真空腔室内升降运动。
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