[实用新型]一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置有效
| 申请号： | 202020971840.3 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN211248328U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;史建有 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/00 | 分类号： | B22F3/00;B22F5/00;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通一装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度，本实用新型既能显著提升装粉作业效率又可以提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 pvd 用靶材锭坯 装置 | ||
【主权项】：
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