[实用新型]一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置有效
| 申请号： | 202020971840.3 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN211248328U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;史建有 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/00 | 分类号： | B22F3/00;B22F5/00;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 pvd 用靶材锭坯 装置 | ||
1.一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通有装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度。
2.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：还包括防尘桶盖，所述防尘桶盖盖设于所述料桶的顶端。
3.如权利要求2所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述料桶、防尘桶盖和装料管均采用不锈钢制作而成，且所述料桶和装料管的内壁均经过抛光处理。
4.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述料桶的底端还设有阀门，所述阀门用于控制所述装料管的通断。
5.如权利要求4所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于，所述阀门为球阀。
6.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述吊装机构包括吊板，所述吊板位于所述料桶的上方，所述吊板的底端对称设有吊钩，所述料桶的外壁对称设有挂耳，所述吊钩与所述挂耳上下对应设置，且所述吊钩与所述挂耳相勾挂连接。
7.如权利要求6所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述吊装机构还包括行车。
8.如权利要求6或7所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述吊板呈倒置的V形，且所述吊板的顶部设有用于与行车相连接的通孔。
9.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述料桶主体呈圆柱状，且所述料桶设有圆锥状的底部。
10.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述装料管的顶部与所述料桶的底部通过螺纹连接。
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