[实用新型]气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备有效
| 申请号： | 202020969949.3 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212471321U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/02 | 分类号： | B25B27/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 510000 广东省广州市中新广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，所述气体分配盘拆卸装置用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述气体分配盘拆卸装置包括：可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围的支撑板；可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上的内环卡套，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，所述支撑板在所述施力把手带动所述内环卡套向上移动时支撑所述施力把手。本实用新型的技术方案能够提高气体分配盘的拆卸速度以及避免导致气体分配盘的相关零部件损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分配 拆卸 装置 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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