[实用新型]气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备

权利要求书

1.一种气体分配盘拆卸装置，用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述第一气体分配盘通过一密封圈固定于所述第二气体分配盘上，其特征在于，所述气体分配盘拆卸装置包括：

支撑板，所述支撑板可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围；

内环卡套，所述内环卡套可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，

用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手与所述内环卡套固定连接，且所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，所述支撑板在所述施力把手带动所述内环卡套向上移动时支撑所述施力把手。

2.如权利要求1所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所述气体分配盘拆卸装置还包括外环卡套，所述施力把手通过所述外环卡套与所述内环卡套固定连接，且所述外环卡套环绕设置于所述内环卡套的外围。

3.如权利要求2所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所述内环卡套包括至少三个夹持部件，且每个夹持部件可拆卸地相互连接，以形成环绕所述第一气体分配盘的外周的空间。

4.如权利要求3所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，每个夹持部件上均连接有一用于在水平方向上移动所述夹持部件的螺丝，且每个夹持部件通过所述螺丝固定连接于所述外环卡套上。

5.如权利要求2所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所述施力把手包括至少四个施力螺丝、套接在每个所述施力螺丝的外周上的施力螺帽以及连接部，所述施力螺帽通过所述连接部与所述外环卡套固定连接。

6.如权利要求5所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，每个施力螺丝包括头部以及与所述头部固定连接的螺杆，所述施力螺帽通过所述螺杆表面的螺纹套接在部分长度的所述螺杆上。

7.如权利要求5所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所有的所述施力螺丝均匀地设置于所述支撑板上。

8.如权利要求1所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所述第二气体分配盘具有一凹槽，所述第一气体分配盘设置于所述凹槽中。

9.如权利要求8所述的气体分配盘拆卸装置，其特征在于，所述支撑板的底面至少覆盖所述凹槽的侧壁的顶面。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：第一气体分配盘、密封圈、第二气体分配盘以及如权利要求1至9中任一项所述的气体分配盘拆卸装置，所述第一气体分配盘通过所述密封圈固定于所述第二气体分配盘上。