[实用新型]气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备

说明书

本实用新型提供了一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，所述气体分配盘拆卸装置用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述气体分配盘拆卸装置包括：可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围的支撑板；可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上的内环卡套，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，所述支撑板在所述施力把手带动所述内环卡套向上移动时支撑所述施力把手。本实用新型的技术方案能够提高气体分配盘的拆卸速度以及避免导致气体分配盘的相关零部件损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备。

背景技术

在刻蚀设备的超大保养时会涉及到需要拆装气体分配盘，参阅图1，图1是气体分配盘的结构示意图，从图1中可看出，气体分配盘包括第一气体分配盘11和第二气体分配盘12，第一气体分配盘11固定于第二气体分配盘12上，且第一气体分配盘11通过定位销使得其能准确地设置于第二气体分配盘12上的相应位置处，第一气体分配盘11与第二气体分配盘12之间还设置有密封圈。在经过长时间的作业之后，第一气体分配盘11与第二气体分配盘12由于受到长时间的挤压，且作业过程中的温度较高，使得二者之间通过密封圈紧密连接在一起，导致第一气体分配盘11很难从第二气体分配盘12上拆卸下来。

目前的拆卸方式是先采用高纯度的异丙醇或者酒精等溶剂倒入第一气体分配盘11的气孔中，以尽可能多地湿润第一气体分配盘11与密封圈的连接处，然后使用橡胶锤敲打第一气体分配盘11的侧边，直至第一气体分配盘11脱落，拆卸耗时长且十分不方便；并且，在拆卸过程中，橡胶锤的敲打会导致第一气体分配盘11和第二气体分配盘12之间出现轻微的位置偏离，从而导致第一气体分配盘11和第二气体分配盘12之间的定位销损坏，或者直接造成两个气体分配盘的损坏。

因此，需要提出一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，以提高拆卸速度，以及避免导致气体分配盘的相关零部件损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，能够提高气体分配盘的拆卸速度以及避免导致气体分配盘的相关零部件损坏。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种气体分配盘拆卸装置，用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述第一气体分配盘通过一密封圈固定于所述第二气体分配盘上，所述气体分配盘拆卸装置包括：

支撑板，所述支撑板可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围；

内环卡套，所述内环卡套可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，

用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手与所述内环卡套固定连接，且所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，所述支撑板在所述施力把手带动所述内环卡套向上移动时支撑所述施力把手。

可选的，所述气体分配盘拆卸装置还包括外环卡套，所述施力把手通过所述外环卡套与所述内环卡套固定连接，且所述外环卡套环绕设置于所述内环卡套的外围。

可选的，所述内环卡套包括至少三个夹持部件，且每个夹持部件可拆卸地相互连接，以形成环绕所述第一气体分配盘的外周的空间。

可选的，每个夹持部件上均连接有一用于在水平方向上移动所述夹持部件的螺丝，且每个夹持部件通过所述螺丝固定连接于所述外环卡套上。

可选的，所述施力把手包括至少四个施力螺丝、套接在每个所述施力螺丝的外周上的施力螺帽以及连接部，所述施力螺帽通过所述连接部与所述外环卡套固定连接。