[实用新型]一种OLED线性蒸发源装置有效
| 申请号： | 202020965799.9 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212669786U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 武启飞;高永喜;廖良生;陈奇;朱宏伟 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种OLED线性蒸发源装置，包括蒸发腔及设置于蒸发腔外侧的加热组件，所述蒸发腔顶端设置有喷嘴，所述蒸发腔内间隔设置有至少两层隔板，所述隔板上设置有喷嘴孔，所述隔板将所述蒸发腔分隔形成加热腔，及加热腔上方的多个混合腔。本实用新型的有益效果体现在：本装置中的蒸汽喷出速率均匀，可形成较均匀的沉积薄膜，解决了蒸镀过程中速率不均匀问题,提高了沉积薄膜的均匀性。采用多层加热的方式，各个加热层中通过喷嘴实现蒸汽的互相流通，为蒸发腔内部简化了整体结构，更好的节省了空间，大大的降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 线性 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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