[实用新型]一种OLED线性蒸发源装置

权利要求书

1.一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，包括蒸发腔及设置于蒸发腔外侧的加热组件，所述蒸发腔顶端设置有喷嘴，所述蒸发腔内间隔设置有至少两层隔板，所述隔板上设置有喷嘴孔，所述隔板将所述蒸发腔分隔形成加热腔，及加热腔上方的多个混合腔。

2.如权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于：所述加热组件在蒸发腔外侧的热功率分布由上而下逐渐降低。

3.如权利要求2所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于：所述加热组件包括串联连接的加热丝，所述加热丝缠绕在所述蒸发腔外侧，由所述蒸发腔顶端至蒸发腔底部，所述加热丝的缠绕密度逐渐减小。

4.如权利要求3所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于：所述喷嘴外侧缠绕有所述加热丝。

5.如权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于：相邻两个所述隔板上的喷嘴孔交错设置。

6.如权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于：所述加热腔内设置有蒸发坩埚，所述加热腔顶端的隔板与所述蒸发坩埚的开口相适配。

7.如权利要求3所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，所述加热组件还包括嵌设于蒸发腔上的氧化铝陶瓷管，所述加热丝设置于所述氧化铝陶瓷管内。

8.如权利要求5所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，所述隔板包括第一隔板及第二隔板，所述第一隔板开设有两排间隔设置的喷嘴孔，所述第二隔板的中心设置有一排喷嘴孔，所述第一隔板与所述第二隔板依次间隔设置。

9.如权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发腔内侧开设有凹槽，所述隔板卡设于所述凹槽内。

10.如权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发腔外设置有壳体，所述壳体顶部设置有开口，所述蒸发腔顶端喷嘴在所述开口内凸出设置。