[实用新型]一种OLED线性蒸发源装置

说明书

本实用新型提供了一种OLED线性蒸发源装置，包括蒸发腔及设置于蒸发腔外侧的加热组件，所述蒸发腔顶端设置有喷嘴，所述蒸发腔内间隔设置有至少两层隔板，所述隔板上设置有喷嘴孔，所述隔板将所述蒸发腔分隔形成加热腔，及加热腔上方的多个混合腔。本实用新型的有益效果体现在：本装置中的蒸汽喷出速率均匀，可形成较均匀的沉积薄膜，解决了蒸镀过程中速率不均匀问题,提高了沉积薄膜的均匀性。采用多层加热的方式，各个加热层中通过喷嘴实现蒸汽的互相流通，为蒸发腔内部简化了整体结构，更好的节省了空间，大大的降低了成本。

技术领域

本实用新型属于蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种OLED线性蒸发源装置。

背景技术

近年来，OLED(Organic Light-Emitting Diode)作为一种新型的平板显示技术逐渐受到越来越多的关注，满足了人们对更高品质显示产品的追求。目前，在大尺寸AMOLED(Active-matrix Organic Light-Emitting Diode)生产中，需要将有机材料等物质置于蒸镀设备的蒸发源中进行蒸发(或升华)，形成的气态有机材料通过蒸发源的喷嘴喷射到蒸发源上方的常温基板后，冷凝于玻璃基板表面，从而完成蒸镀作业。现有蒸镀设备多采用线性蒸发源，但现有的量产线而言，线性蒸发源的结构通常是单层加热结构，中间加热部分采用多根铠装加热丝独立加热，同时需要结合独立的温度控制，亦会使用多组温控表、电源及热电偶，导致真空腔室内接线繁琐，维护不便，还会增加故障发生率，同时蒸发速率容易过冲，不易稳定控制。而铠装加热丝在制作过程中，会被拉伸致使加热丝的粗细不均（即电阻不一样），容易造成在坩埚加热及传递过程中不同位置的热量和温度存在差异。升温不同，会导致蒸发速率不同，从而影响到最终的膜厚均匀性。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种OLED线性蒸发源装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种OLED线性蒸发源装置，其特征在于，包括蒸发腔及设置于蒸发腔外侧的加热组件，所述蒸发腔顶端设置有喷嘴，所述蒸发腔内间隔设置有至少两层隔板，所述隔板上设置有喷嘴孔，所述隔板将所述蒸发腔分隔形成加热腔，及加热腔上方的多个混合腔。

优选地，所述加热组件在蒸发腔外侧的热功率分布由上而下逐渐降低。

优选地，所述加热组件包括串联连接的加热丝，所述加热丝缠绕在所述蒸发腔外侧，由所述蒸发腔顶端至蒸发腔底部，所述加热丝的缠绕密度逐渐减小。

优选地，所述喷嘴外侧缠绕有所述加热丝。

优选地，相邻两个所述隔板上的喷嘴孔交错设置。

优选地，所述加热腔内设置有蒸发坩埚，所述加热腔顶端的隔板与所述蒸发坩埚的开口相适配。

优选地，所述加热组件还包括嵌设于蒸发腔上的氧化铝陶瓷管，所述加热丝设置于所述氧化铝陶瓷管内。

优选地，所述加隔板包括第一隔板及第二隔板，所述第一隔板开设有两排间隔设置的喷嘴孔，所述第二隔板的中心设置有一排喷嘴孔，所述第一隔板与所述第二隔板依次间隔设置。

优选地，所述蒸发腔内侧开设有凹槽，所述隔板卡设于所述凹槽内。

优选地，所述蒸发腔外设置有壳体，所述壳体顶部设置有开口，所述蒸发腔顶端喷嘴在所述开口内凸出设置。

本实用新型的有益效果体现在：本装置中的蒸汽喷出速率均匀，可形成较均匀的沉积薄膜，解决了蒸镀过程中速率不均匀问题, 提高了沉积薄膜的均匀性。各个加热层中通过喷嘴实现蒸汽的互相流通，为蒸发腔内部简化了整体结构，更好的节省了空间，大大的降低了成本。

附图说明

图1：本实用新型的立体结构示意图。

图2：本实用新型图1中隐去壳体的立体结构示意图。