[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 202020964469.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212533113U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李勇聪;梁凤连;梁金培;唐光安 | 申请（专利权）人： | 深圳市信濠光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 彭光荣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜机，其包括真空箱、设于真空箱外用于对真空箱抽真空的抽真空机构和设于真空箱内的材料架、第一镀膜机构、传动机构、驱动机构、第二镀膜机构、第三镀膜机构以及离子源清洗机构；所述材料架用于承载待镀膜的基片；所述第一镀膜机构用于对材料架上的基片镀防指纹膜；所述传动机构用于带动材料架和第一镀膜机构转动；所述驱动机构用于驱动传动机构转动；所述第二镀膜机构用于对材料架上的基片镀硅膜；所述第三镀膜机构用于对材料架上的基片镀抗菌膜；所述离子源清洗机构用于向真空腔内释放等离子体对材料架上的基片进行清洗。本实用新型的真空镀膜机可以同时对基片镀多种膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市信濠光电科技股份有限公司，未经深圳市信濠光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020964469.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可自动翻转的机械式弧形筛
- 下一篇：一种中心传动浓缩机
- 同类专利
- 专利分类
