[实用新型]一种芯片测试压合机构有效
申请号: | 202020905500.0 | 申请日: | 2020-05-26 |
公开(公告)号: | CN211957599U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 谢磊;任宁 | 申请(专利权)人: | 上海恒浥智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 季永康 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种芯片测试压合机构,其中包括:承载芯片的测试台,及压合芯片的压合单元,其中所述压合单元包括:连接板,压块,固定件,弹性件,所述固定件呈环形其上环内壁上设有环状固定槽,所述压块呈凸形,其上部设有与所述固定槽适配的限位环,以限制所述压块仅下部压头从所述固定件内环伸出,所述固定件与所述连接板固定连接,以使所述压块上部与所述连接板之间定义出弹性空间,以容纳所述弹性件;所述测试台包括:定位件,探针台,其中所述定位件呈环形,其围设在所述探针台上定义出芯片测试槽,以供承载被测芯片,并与压合单元适配,以减少芯片因为压合受力造成的损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 机构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造