[实用新型]一种适用于CVD合金零件制备的散热结构

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，解决现有技术中存在冷却效果差、生产效率低的缺点，包括沉积台和顶板，所述沉积台的顶部固定连接有散热台，所述散热台的顶部放置有样品，且沉积台的一侧固定设置有冷却水箱，所述沉积台和散热台的内部共同开设有内槽，所述内槽的内部滑动设置有冷却件，通过伺服电机、驱动齿轮、从动齿轮、螺纹杆、升降块等结构的设置，在冷却前冷却水箱就可持续地将冷却液送入至冷却件的内部进行预冷，使冷却件始终处于低温状态，冷却时通过升降机构将冷却件送至样品底部，能够及时地对样品进行降温，大大地提高了生产效率，具有较强的实用性。