[实用新型]一种适用于CVD合金零件制备的散热结构

权利要求书

1.一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，包括沉积台(1)和顶板(5)，其特征在于，所述沉积台(1)的顶部固定连接有散热台(3)，所述散热台(3)的顶部放置有样品(4)，且沉积台(1)的一侧固定设置有冷却水箱(2)，所述沉积台(1)和散热台(3)的内部共同开设有内槽(7)，所述内槽(7)的内部滑动设置有冷却件(8)，所述冷却件(8)的底部通过螺栓固定连接有升降杆(14)，所述升降杆(14)的底部焊接有连接板(15)，连接板(15)的一侧通过沉头螺栓固定连接有升降块(21)，所述内槽(7)的内部转动安装有螺纹杆(13)，所述升降块(21)螺纹连接在所述螺纹杆(13)的外部；

所述顶板(5)的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有风扇(6)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，其特征在于，所述冷却件(8)的内部开设有冷却回路(9)，冷却回路(9)的进口和出口均固定连接有软管(18)，所述冷却水箱(2)的一侧依次通过法兰盘固定连接有进水管(10)和出水管(11)，所述进水管(10)和出水管(11)的另一端与所述软管(18)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，其特征在于，所述沉积台(1)的底部开设有凹槽(16)，凹槽(16)的顶部通过螺栓固定安装有伺服电机(17)，所述伺服电机(17)的输出端通过联轴器连接有转轴，所述转轴的外部套设有驱动齿轮(19)，所述螺纹杆(13)的靠近端部的外侧套设有从动齿轮(20)，驱动齿轮(19)和从动齿轮(20)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，其特征在于，所述内槽(7)的内壁一侧设置有一体结构的侧板(12)，内槽(7)的底壁和侧板(12)的底部分别安装有第一轴承和第二轴承，所述螺纹杆(13)的两端分别套设在所述第一轴承和第二轴承的内部。

5.根据权利要求1所述的一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，其特征在于，所述内槽(7)的内壁两侧均通过铆钉固定有滑轨，所述冷却件(8)的两侧均通过沉头螺栓固定有滑块，所述滑块与滑轨滑动连接。