[实用新型]一种适用于CVD合金零件制备的散热结构

说明书

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，解决现有技术中存在冷却效果差、生产效率低的缺点，包括沉积台和顶板，所述沉积台的顶部固定连接有散热台，所述散热台的顶部放置有样品，且沉积台的一侧固定设置有冷却水箱，所述沉积台和散热台的内部共同开设有内槽，所述内槽的内部滑动设置有冷却件，通过伺服电机、驱动齿轮、从动齿轮、螺纹杆、升降块等结构的设置，在冷却前冷却水箱就可持续地将冷却液送入至冷却件的内部进行预冷，使冷却件始终处于低温状态，冷却时通过升降机构将冷却件送至样品底部，能够及时地对样品进行降温，大大地提高了生产效率，具有较强的实用性。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种适用于CVD合金零件制备的散热结构。

背景技术

适用于制备合金零件的化学气相沉积装置有微波等离子体CVD装置、热丝CVD装置、直流CVD装置等。其中，微波等离子体CVD是使用高能微波将混合气源直接电离为亚稳态活性基团；热丝CVD是使用2000℃左右的高温金属丝将混合气源直接加热电离；直流CVD是在高压电场的作用下高能电子对混合气源进行轰击电离。无论使用何种CVD装置制备合金零件都必须考虑到合金零件的散热问题。

现有技术中用于CVD合金零件制品的散热结构存在以下缺陷：一是冷却功能单一，不能实现较好的冷却效果；二是冷却回路启动冷却时需要一段时间，不能即使对样品进行及时冷却，生产效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在冷却效果差、生产效率低的缺点，而提出的一种适用于CVD合金零件制备的散热结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种适用于CVD合金零件制备的散热结构，包括沉积台和顶板，所述沉积台的顶部固定连接有散热台，所述散热台的顶部放置有样品，且沉积台的一侧固定设置有冷却水箱，所述沉积台和散热台的内部共同开设有内槽，所述内槽的内部滑动设置有冷却件，所述冷却件的底部通过螺栓固定连接有升降杆，所述升降杆的底部焊接有连接板，连接板的一侧通过沉头螺栓固定连接有升降块，所述内槽的内部转动安装有螺纹杆，所述升降块螺纹连接在所述螺纹杆的外部；

所述顶板的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有风扇。

优选的，所述冷却件的内部开设有冷却回路，冷却回路的进口和出口均固定连接有软管，所述冷却水箱的一侧依次通过法兰盘固定连接有进水管和出水管，所述进水管和出水管的另一端与所述软管固定连接。

优选的，所述沉积台的底部开设有凹槽，凹槽的顶部通过螺栓固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器连接有转轴，所述转轴的外部套设有驱动齿轮，所述螺纹杆的靠近端部的外侧套设有从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮啮合连接。

优选的，所述内槽的内壁一侧设置有一体结构的侧板，内槽的底壁和侧板的底部分别安装有第一轴承和第二轴承，所述螺纹杆的两端分别套设在所述第一轴承和第二轴承的内部。

优选的，所述内槽的内壁两侧均通过铆钉固定有滑轨，所述冷却件的两侧均通过沉头螺栓固定有滑块，所述滑块与滑轨滑动连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中通过风扇、冷却水箱、冷却件等结构的设置，冷却时设备不仅仅利用风扇进行风冷，还同时利用冷却水箱对样品进行水冷，两种冷却方式同步进行，有效地提升了冷却的效果。

2、本实用新型中通过伺服电机、驱动齿轮、从动齿轮、螺纹杆、升降块等结构的设置，在冷却前冷却水箱就可持续地将冷却液送入至冷却件的内部进行预冷，使冷却件始终处于低温状态，冷却时通过升降机构将冷却件送至样品底部，能够及时地对样品进行降温，大大地提高了生产效率，具有较强的实用性。

附图说明