[实用新型]一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具有效
| 申请号： | 202020851409.5 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212082742U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 周毅;张正伟 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，包括检测箱、O型圈槽和推拉手把，所述检测箱的顶部通过螺栓安装有放置面板，所述检测箱的一侧设置有真空管道，所述真空管道的一端设置有气体注入口，所述检测箱的一端通过定位螺栓安装有计时器，所述检测箱的内部通过安装架及螺栓安装有O型圈槽，所述检测箱的内表层设置有耐污层。该新型功能多样，操作简单，便于生产，满足了使用中的多种需求，适合广泛推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 wcvd 装置 dome 陶瓷 部件 密封 密封性 检测 | ||
【主权项】：
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