[实用新型]一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具有效
| 申请号： | 202020851409.5 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212082742U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 周毅;张正伟 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 wcvd 装置 dome 陶瓷 部件 密封 密封性 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，包括检测箱(6)、O型圈槽(10)和推拉手把(8)，其特征在于：所述检测箱(6)的顶部通过螺栓安装有放置面板(1)，所述检测箱(6)的一侧设置有真空管道(2)，所述真空管道(2)的一端设置有气体注入口(3)，所述检测箱(6)的一端通过定位螺栓安装有计时器(7)，所述检测箱(6)的内部通过安装架及螺栓安装有O型圈槽(10)，所述检测箱(6)的内表层设置有耐污层(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，其特征在于：所述气体注入口(3)上通过螺钉安装有控制阀(4)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，其特征在于：所述耐污层(5)为有机硅涂层。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，其特征在于：所述检测箱(6)的两端通过螺钉安装有推拉手把(8)，且推拉手把(8)内侧设置有放手槽(9)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，其特征在于：所述气体注入口(3)与检测箱(6)相连通，所述检测箱(6)的底部通过螺栓安装有可制动万向轮。
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