[实用新型]一种MEMS麦克风有效

专利信息
申请号: 202020769066.8 申请日: 2020-05-11
公开(公告)号: CN211909163U 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 王志 申请(专利权)人: 路溱微电子技术(苏州)有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 上海大为知卫知识产权代理事务所(普通合伙) 31390 代理人: 何银南
地址: 215011 江苏省苏州市高新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种MEMS麦克风,属于MEMS麦克风领域,该MEMS麦克风包括基板、固定安装在所述基板上的MEMS芯片和ASIC芯片以及固定安装在所述基板上用于封盖所述MEMS芯片和所述ASIC芯片的外壳;所述MEMS芯片与所述基板之间通过贴片胶柱胶合连接,所述贴片胶柱由胶水固化而成;所述MEMS麦克风上开设有用于声音穿透的声孔;所述基板对应所述MEMS芯片的位置处开设有用于容纳所述贴片胶柱的容腔;所述容腔的开口位置处固定安装有铜箔片,所述铜箔片上开设有用于液体渗透流通的穿孔。该MEMS麦克风能够有效地减少胶水与芯片侧壁的接触,改善贴片时爬胶、溢胶的问题;抗冲击性能良好,使用寿命长。
搜索关键词: 一种 mems 麦克风
【主权项】:
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