[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括基板(1)、固定安装在所述基板(1)上的MEMS芯片(3)和ASIC芯片(5)以及固定安装在所述基板(1)上用于封盖所述MEMS芯片(3)和所述ASIC芯片(5)的外壳(2)；所述MEMS芯片(3)与所述基板(1)之间通过贴片胶柱(7)胶合连接，所述贴片胶柱(7)由胶水固化而成；所述MEMS麦克风上开设有用于声音穿透的声孔(8)；其特征在于：所述基板(1)对应所述MEMS芯片(3)的位置处开设有用于容纳所述贴片胶柱(7)的容腔(4)；

所述容腔(4)的开口位置处固定安装有铜箔片(6)，所述铜箔片(6)上开设有用于液体渗透流通的穿孔(61)。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述穿孔(61)呈网格状分布。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔(8)共开设有若干个。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：若干个所述声孔(8)呈阵列分布在所述外壳(2)上。

5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：若干个所述声孔(8)呈阵列分布在所述基板(1)对应所述容腔(4)的底面中心位置处。