[实用新型]分流板和电化学沉积设备有效
| 申请号： | 202020752518.1 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN212505127U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 闫俊伟;袁广才;张国才;孙少东;董士豪;王成飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/00;C25D17/10;C25D21/06;C25D5/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于电化学沉积设备中的分流板，所述分流板包括：容纳壳体，所述容纳壳体包括：第一壁、与所述第一壁相对设置的第二壁以及连接在所述第一壁与所述第二壁之间的多个侧壁，所述第一壁、所述第二壁和所述多个侧壁围成容纳腔，所述容纳壳体上设置有进液口和多个出液口，所述进液口和所述出液口均与所述容纳腔连通，所述出液口设置在第一壁上；多个回液管路，所述回液管路穿过所述容纳腔，所述回液管路的入口设置在所述第一壁上，所述回液管路的出口设置在所述第二壁上。本实用新型还提供一种电化学沉积设备。本实用新型提供的分流板和电化学沉积设备有利于提高基板上沉积膜层的厚度均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 分流 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020752518.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于铲运装卸一体式铲车
- 下一篇：一种食品塑料盒的注塑装置
