[实用新型]分流板和电化学沉积设备

权利要求书

1.一种分流板，用于电化学沉积设备，其特征在于，所述分流板包括：

容纳壳体，所述容纳壳体包括：第一壁、与所述第一壁相对设置的第二壁以及连接在所述第一壁与所述第二壁之间的多个侧壁，所述第一壁、所述第二壁和所述多个侧壁围成容纳腔，所述容纳壳体上设置有进液口和多个出液口，所述进液口和所述出液口均与所述容纳腔连通，所述出液口设置在第一壁上；

多个回液管路，所述回液管路穿过所述容纳腔，所述回液管路的入口设置在所述第一壁上，所述回液管路的出口设置在所述第二壁上。

2.根据权利要求1所述的分流板，其特征在于，不同所述出液口的口径相同，不同所述回液管路的内径相同；多个所述出液口均匀分布，多个所述回液管路均匀分布。

3.根据权利要求1所述的分流板，其特征在于，所述分流板划分为多个分区，每个所述分区均设置有均匀分布的多个所述回液管路和均匀分布的多个所述出液口，

不同分区中的出液口的口径不同，不同分区中的回液管路的内径不同；和/或，

不同分区中的出液口的分布密度不同，不同分区中的回液管路的分布密度不同。

4.根据权利要求3所述的分流板，其特征在于，同一个所述分区中，所述出液口的口径小于所述回液管路的内径。

5.根据权利要求4所述的分流板，其特征在于，同一个所述分区中，所述回液管路的内径为所述出液口的口径30～60倍。

6.根据权利要求3所述的分流板，其特征在于，所述多个分区包括位于所述分流板中部的中部分区和至少一个环绕所述中部分区的环状分区，

所述中部分区的出液口的口径小于所述环状分区的出液口的口径，所述中部分区的回液管路的内径小于所述环状分区的回液管路的内径；和/或，

所述中部分区的出液口的分布密度大于所述环状分区的出液口的分布密度，所述中部分区的回液管路的分布密度大于所述环状分区的回液管路的分布密度。

7.根据权利要求6所述的分流板，其特征在于，所述中部分区的出液口的口径位于所述环状分区的出液口的口径的0.2～0.5倍，所述中部分区的回液管路的内径为所述环状分区的回液管路的内径的0.3～0.6倍。

8.根据权利要求6所述的分流板，其特征在于，所述中部分区沿第一方向的尺寸为所述环状分区沿所述第一方向的尺寸的1～3倍，所述中部分区沿第二方向的尺寸为所述环状分区沿所述第二方向的尺寸的1～3倍。

9.根据权利要求1至4中任意一项所述的分流板，其特征在于，所述容纳腔内设置有分隔壁，所述分隔壁将所述容纳腔分隔为互不连通的多个容纳子腔，每个所述容纳子腔均与至少一个所述进液口和均匀分布的多个所述出液口连通。

10.根据权利要求1至4中任意一项所述的分流板，其特征在于，所述进液口设置在所述容纳壳体的侧壁上，所述分流板还包括设置在所述容纳腔中的至少一个匀流挡板，所述匀流挡板将所述容纳腔分隔为主腔和至少一个均压腔，所述进液口与所述均压腔连通，所述出液口与所述主腔连通，所述回液管路穿过所述主腔，所述匀流挡板上设置有均匀分布的多个通孔，所述均压腔与所述主腔通过所述匀流挡板上的所述通孔连通。

11.根据权利要求10所述的分流板，其特征在于，所述多个侧壁包括相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设置有所述进液口，所述容纳腔中靠近所述第一侧壁的位置和所述第二侧壁的位置均设置有两个所述匀流挡板，以将所述容纳腔分隔为一个所述主腔和四个所述均压腔，

在所述主腔的同一侧，靠近所述进液口的匀流挡板上的通孔孔径大于远离所述进液口的匀流挡板上的通孔孔径，靠近所述进液口的匀流挡板上的通孔分布密度小于远离所述进液口的匀流挡板上的通孔的分布密度。