[实用新型]一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具有效
申请号: | 202020736676.8 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN212834004U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 白秋云 | 申请(专利权)人: | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/08 |
代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 潘育敏 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域,具体而言,涉及一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具,包括底板、压环和设于底板的用于压紧压环的压紧组件;底板的载物面沿径向开设有滑槽,滑槽底部开设有多个销孔,多个销孔沿径向排列;压紧组件包括压板、弹性压紧件和弹簧销,压板卡设于滑槽且压板可沿滑槽的延伸方向滑动;弹簧销设于压板靠近滑槽槽底的一板面,且弹簧销卡设于销孔,以固定压板;在本实用新型中,在底板的径向上设置有多个销孔,通过将压紧组件上的弹簧销固定在不同的销孔中,调节弹性压紧件与底板中心的间距,再配合相应尺寸的压环,可对不同尺寸的物件进行镀膜,提高了夹具的适用范围,在使用时,只需要更换压环即可,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 sio2 基底 y2o3 夹具 | ||
【主权项】:
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