[实用新型]一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具有效

专利信息
申请号: 202020736676.8 申请日: 2020-05-07
公开(公告)号: CN212834004U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 白秋云 申请(专利权)人: 成都超纯应用材料有限责任公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/08
代理公司: 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 代理人: 潘育敏
地址: 610200 四川省成*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及蒸发镀膜技术领域,具体而言,涉及一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具,包括底板、压环和设于底板的用于压紧压环的压紧组件;底板的载物面沿径向开设有滑槽,滑槽底部开设有多个销孔,多个销孔沿径向排列;压紧组件包括压板、弹性压紧件和弹簧销,压板卡设于滑槽且压板可沿滑槽的延伸方向滑动;弹簧销设于压板靠近滑槽槽底的一板面,且弹簧销卡设于销孔,以固定压板;在本实用新型中,在底板的径向上设置有多个销孔,通过将压紧组件上的弹簧销固定在不同的销孔中,调节弹性压紧件与底板中心的间距,再配合相应尺寸的压环,可对不同尺寸的物件进行镀膜,提高了夹具的适用范围,在使用时,只需要更换压环即可,使用方便。
搜索关键词: 一种 sio2 基底 y2o3 夹具
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都超纯应用材料有限责任公司,未经成都超纯应用材料有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202020736676.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top