[实用新型]一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具

权利要求书

1.一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，包括底板(1)、压环(2)和设于所述底板(1)的用于压紧所述压环(2)的压紧组件(3)；

所述底板(1)的载物面沿径向开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)底部开设有多个销孔(12)，多个所述销孔(12)沿径向排列；

所述压紧组件(3)包括压板(31)、弹性压紧件(32)和弹簧销(33)，所述压板(31)卡设于所述滑槽(11)且所述压板(31)可沿所述滑槽(11)的延伸方向滑动；所述弹簧销(33)设于所述压板(31)靠近滑槽(11)槽底的一板面，且所述弹簧销(33)卡设于所述销孔(12)，以固定所述压板(31)；

所述压紧组件(3)设于所述压板(31)靠近所述底板(1)中心的一端，所述弹性压紧件(32)包括压块(321)、连接轴(322)和限位块(323)，所述连接轴(322)的一端与所述压块(321)的一板面固定连接，所述连接轴(322)的另一端与所述限位块(323)连接；所述压板(31)沿所述底板(1)的轴向开设有通孔，所述连接轴(322)贯穿所述通孔，且可沿所述通孔的轴向滑动，所述通孔内壁开设有环形槽，所述连接轴(322)套设有弹簧(324)，所述弹簧(324)靠近所述压块(321)的一端与所述连接轴(322)固定连接，所述弹簧(324)的另一端抵接于所述环形槽的槽壁；所述压环(2)的上端面抵接于所述压块(321)，所述压环(2)的下端面抵接于所述底板(1)。

2.根据权利要求1所述的SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，所述压紧组件(3)至少为四个，四个所述压紧组件(3)成环形阵列分布于所述底板(1)的载物面。

3.根据权利要求1所述的SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，所述压环(2)为圆环状或者矩形环状。

4.根据权利要求1所述的SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，所述弹簧销(33)为多个，多个所述弹簧销(33)沿所述底板(1)径向排列，且相邻的弹簧销(33)的间距等于相邻所述销孔(12)的间距。

5.根据权利要求1所述的SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，所述滑槽(11)的宽度为a，所述压块(321)宽度b，其中b＞a。