[实用新型]一种硅片加工用脱胶花篮有效

专利信息
申请号: 202020712071.5 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN211578707U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 伊观兰 申请(专利权)人: 天津西美半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 尹均利
地址: 300450 天津市滨海新区华苑产业园海*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及硅片加工清洗技术领域,且公开了一种硅片加工用脱胶花篮,包括清洗盒,所述清洗盒的外壁开设有进水孔,所述清洗盒的内壁固定连接有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有限位块,所述限位块的内壁活动连接有收集网,所述支撑板的顶部固定连接有第一防滑垫。该硅片加工用脱胶花篮,达到了使用效果好的目的,使得人们在使用该硅片加工用脱胶花篮对硅片就行脱胶时更加方便,避免了许多不必要的麻烦,省去了大量的时间,提高了人们的工作效率,同时也使得硅片在清洗过后可以正常工作,同时也达到了便于安装的目的,使得人们在安装或者清洗该硅片加工用脱胶花篮时更加方便,省时实力,使用更加得心应手。
搜索关键词: 一种 硅片 工用 脱胶 花篮
【主权项】:
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