[实用新型]一种硅片加工用脱胶花篮有效
申请号: | 202020712071.5 | 申请日: | 2020-04-30 |
公开(公告)号: | CN211578707U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 伊观兰 | 申请(专利权)人: | 天津西美半导体材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 300450 天津市滨海新区华苑产业园海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 工用 脱胶 花篮 | ||
本实用新型涉及硅片加工清洗技术领域,且公开了一种硅片加工用脱胶花篮,包括清洗盒,所述清洗盒的外壁开设有进水孔,所述清洗盒的内壁固定连接有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有限位块,所述限位块的内壁活动连接有收集网,所述支撑板的顶部固定连接有第一防滑垫。该硅片加工用脱胶花篮,达到了使用效果好的目的,使得人们在使用该硅片加工用脱胶花篮对硅片就行脱胶时更加方便,避免了许多不必要的麻烦,省去了大量的时间,提高了人们的工作效率,同时也使得硅片在清洗过后可以正常工作,同时也达到了便于安装的目的,使得人们在安装或者清洗该硅片加工用脱胶花篮时更加方便,省时实力,使用更加得心应手。
技术领域
本实用新型涉及硅片加工清洗技术领域,具体为一种硅片加工用脱胶花篮。
背景技术
硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素,为获得洁净度高的硅片,往往硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗和精细清洗两个部分,而作为第一道清洗工序的脱胶清洗虽然没有切割工艺要求那么高,但也是获得洁净片的重要工序,其清洗过程涉及到物理、化学和超声等多种学科。
其中主要的脱胶方式就是在热水中加入乳酸或者是柠檬酸使脱胶花篮将硅片放入到热水中用进行胶水软化,从而达到脱胶的目的,现有的硅片加工用脱胶花篮使用使用效果不好,给人们的脱胶工作带来了许多不必要的麻烦,同时也降低了人们的工作效率,还有可能使得硅片的脱胶不彻底,影响硅片工作的效率。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片加工用脱胶花篮,具备使用效果好等优点,解决了一般的硅片加工用脱胶花篮使用效果不好的问题。
(二)技术方案
为实现上述该硅片加工用脱胶花篮使用效果好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片加工用脱胶花篮,包括清洗盒,所述清洗盒的外壁开设有进水孔,所述清洗盒的内壁固定连接有支撑板,所述支撑板的底部固定连接有限位块,所述限位块的内壁活动连接有收集网,所述支撑板的顶部固定连接有第一防滑垫,所述清洗盒的外壁开设有放置槽,所述清洗盒的顶部固定连接有顶板,所述顶板的顶部开设有弹簧槽。
所述弹簧槽的内壁固定连接有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有压块,所述压块的底部固定连接有第二防滑垫,所述压块的顶部固定连接有拉杆,所述拉杆的外壁固定连接有限位环,所述拉杆的一端固定连接有拉环,所述顶板的顶部固定连接有提杆。
优选的,所述顶板的顶部固定连接有安装螺栓,所述安装螺栓的外壁固定连接有垫片,且安装螺栓的一端分别贯穿顶板的顶部和顶板的底部并延伸至清洗盒的顶部,且顶板通过安装螺栓与清洗盒固定连接。
优选的,所述拉杆的一端分别贯穿顶板的顶部和顶板的底部并延伸至压块的顶部,且拉杆的外壁与顶板的顶部活动连接。
优选的,所述弹簧槽的形状大小与弹簧的形状大小均相互匹配,且弹簧通过弹簧槽与顶板固定连接。
优选的,所述第一防滑垫和第二防滑垫均为橡胶防滑垫,所述收集网为不锈钢收集网。
优选的,所述放置槽的数量为两个,且两个放置槽以清洗盒的中垂线为对称轴对称设置。
优选的,所述拉杆的数量和拉环的数量均为两个,且每一个拉杆和每一个拉环为一组,且两组拉杆和拉环以顶板的中垂线为对称轴对称设置。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅片加工用脱胶花篮,具备以下有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造