[实用新型]一种硅片加工用脱胶花篮

权利要求书

1.一种硅片加工用脱胶花篮，包括清洗盒(1)，其特征在于：所述清洗盒(1)的外壁开设有进水孔(2)，所述清洗盒(1)的内壁固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的底部固定连接有限位块(4)，所述限位块(4)的内壁活动连接有收集网(5)，所述支撑板(3)的顶部固定连接有第一防滑垫(6)，所述清洗盒(1)的外壁开设有放置槽(7)，所述清洗盒(1)的顶部固定连接有顶板(10)，所述顶板(10)的顶部开设有弹簧槽(11)；

所述弹簧槽(11)的内壁固定连接有弹簧(12)，所述弹簧(12)的一端固定连接有压块(13)，所述压块(13)的底部固定连接有第二防滑垫(14)，所述压块(13)的顶部固定连接有拉杆(15)，所述拉杆(15)的外壁固定连接有限位环(16)，所述拉杆(15)的一端固定连接有拉环(17)，所述顶板(10)的顶部固定连接有提杆(18)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述顶板(10)的顶部固定连接有安装螺栓(8)，所述安装螺栓(8)的外壁固定连接有垫片(9)，且安装螺栓(8)的一端分别贯穿顶板(10)的顶部和顶板(10)的底部并延伸至清洗盒(1)的顶部，且顶板(10)通过安装螺栓(8)与清洗盒(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述拉杆(15)的一端分别贯穿顶板(10)的顶部和顶板(10)的底部并延伸至压块(13)的顶部，且拉杆(15)的外壁与顶板(10)的顶部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述弹簧槽(11)的形状大小与弹簧(12)的形状大小均相互匹配，且弹簧(12)通过弹簧槽(11)与顶板(10)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述第一防滑垫(6)和第二防滑垫(14)均为橡胶防滑垫，所述收集网(5)为不锈钢收集网。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述放置槽(7)的数量为两个，且两个放置槽(7)以清洗盒(1)的中垂线为对称轴对称设置。

7.根据权利要求1所述的一种硅片加工用脱胶花篮，其特征在于：所述拉杆(15)的数量和拉环(17)的数量均为两个，且每一个拉杆(15)和每一个拉环(17)为一组，且两组拉杆(15)和拉环(17)以顶板(10)的中垂线为对称轴对称设置。