[实用新型]晶圆测试设备有效
| 申请号： | 202020708714.9 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN212255574U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡文森;郭明宏;陈文鋕;庄坤彬;罗威 | 申请（专利权）人： | 迈柯博科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 201899 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆测试设备，包括载晶盘，用于承载晶圆，所述晶圆包括多个集成电路；探针卡，具有朝向所述载晶盘的探针阵列；可移动的第一图像捕获装置，朝向所述探针卡，用于检测所述探针阵列中的至少部分探针在第一参考坐标系中的坐标；以及控制器，电性耦接所述第一图像捕获装置，用于根据所述坐标计算所述探针卡在第一参考面内的偏移、在所述第一参考面内的偏转和/或相对于所述第一参考面的倾角，所述第一参考面由所述第一参考坐标系的两个坐标轴界定。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 | ||
【主权项】：
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