[实用新型]一种用于镀膜的公自转镀膜装置有效
| 申请号： | 202020699553.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN212199404U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 余海春;戴晓东;陈韶华;卜钦钦 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的公自转镀膜装置，包括真空腔体、大转架、小转架，大转架和小转架均设置在真空腔体的内部，其中小转架安装在大转架上且两者之间构成转动配合；大转架连接有公转驱动装置，公转驱动装置设置在真空腔体的外部，公转驱动装置连接驱动大转架在真空腔体内公转，小转架连接有自转驱动装置，自转驱动装置设置在真空腔体的内部，自转驱动装置连接驱动小转架在大转架上的自转；大转架和小转架为圆筒式转架。本实用新型的优点是：通过调节公转与自转的转速比例,可以改变沉积时间的分布，改善薄膜厚度的均匀性，具有制得的薄膜均匀性更好、溅射效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 自转 装置 | ||
【主权项】：
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