[实用新型]一种用于镀膜的公自转镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202020699553.1 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN212199404U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 余海春;戴晓东;陈韶华;卜钦钦 申请(专利权)人: 光驰科技(上海)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/54
代理公司: 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 代理人: 周宇凡
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 自转 装置
【权利要求书】:

1.一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述装置包括真空腔体、大转架、小转架,所述大转架和所述小转架均设置在所述真空腔体的内部,其中所述小转架安装在所述大转架上且两者之间构成转动配合;所述大转架连接有公转驱动装置,所述公转驱动装置设置在所述真空腔体的外部,所述公转驱动装置连接驱动所述大转架在所述真空腔体内公转,所述小转架连接有自转驱动装置,所述自转驱动装置设置在所述真空腔体的内部,所述自转驱动装置连接驱动所述小转架在所述大转架上的自转;所述大转架和所述小转架为圆筒式转架。

2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述小转架与所述大转架之间的转动配合指的是,所述小转架的自转转轴安装在所述大转架上,且所述自转转轴与所述大转架的架体之间构成轴孔配合,使所述自转转轴可在所述自转驱动装置的连接驱动下转动。

3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述公转驱动装置包括电机、同步带轮、磁流体,所述电机通过所述同步带轮连接所述磁流体,所述磁流体与所述大转架相连接固定。

4.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述自转驱动装置为真空电机,所述真空电机固定安装在所述大转架上。

5.根据权利要求4所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述真空电机通过电极导入法兰连接有电机滑环,所述电机滑环为所述真空电机的动力部件。

6.根据权利要求4所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述真空电机设置有冷却水管路。

7.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:沿所述大转架的圆周均匀间隔布置若干所述小转架。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰科技(上海)有限公司,未经光驰科技(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020699553.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top