[实用新型]一种用于镀膜的公自转镀膜装置有效
申请号: | 202020699553.1 | 申请日: | 2020-04-30 |
公开(公告)号: | CN212199404U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 余海春;戴晓东;陈韶华;卜钦钦 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/54 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 周宇凡 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 镀膜 自转 装置 | ||
1.一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述装置包括真空腔体、大转架、小转架,所述大转架和所述小转架均设置在所述真空腔体的内部,其中所述小转架安装在所述大转架上且两者之间构成转动配合;所述大转架连接有公转驱动装置,所述公转驱动装置设置在所述真空腔体的外部,所述公转驱动装置连接驱动所述大转架在所述真空腔体内公转,所述小转架连接有自转驱动装置,所述自转驱动装置设置在所述真空腔体的内部,所述自转驱动装置连接驱动所述小转架在所述大转架上的自转;所述大转架和所述小转架为圆筒式转架。
2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述小转架与所述大转架之间的转动配合指的是,所述小转架的自转转轴安装在所述大转架上,且所述自转转轴与所述大转架的架体之间构成轴孔配合,使所述自转转轴可在所述自转驱动装置的连接驱动下转动。
3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述公转驱动装置包括电机、同步带轮、磁流体,所述电机通过所述同步带轮连接所述磁流体,所述磁流体与所述大转架相连接固定。
4.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述自转驱动装置为真空电机,所述真空电机固定安装在所述大转架上。
5.根据权利要求4所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述真空电机通过电极导入法兰连接有电机滑环,所述电机滑环为所述真空电机的动力部件。
6.根据权利要求4所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:所述真空电机设置有冷却水管路。
7.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的公自转镀膜装置,其特征在于:沿所述大转架的圆周均匀间隔布置若干所述小转架。
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