[实用新型]一种密封驱动装置及原子层沉积设备有效
| 申请号： | 202020673167.5 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212151024U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李哲峰;乌磊;郑文岸;张光海 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65H23/032 | 分类号： | B65H23/032;F16J15/52;F16J15/06;C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 魏兰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种密封驱动装置及原子层沉积设备，其中，所述密封驱动装置包括：壳体，所述壳体用于形成真空室；波纹管，所述波纹管靠近所述壳体的一端设置有法兰，所述法兰固定于所述壳体外表面上；驱动轴，所述驱动轴一端依次穿过所述波纹管、法兰以及壳体以伸入所述真空室中，所述驱动轴另一端位于所述真空室外并与所述波纹管密封设置，本实用新型保证了真空室的气密性，并且降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 驱动 装置 原子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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