[实用新型]一种真空镀膜设备用冷却机构有效
| 申请号： | 202020662793.4 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212152425U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王静 | 申请（专利权）人： | 深圳市山禾乐科技开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;F25D1/02;F25D1/00 |
| 代理公司： | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 张朝阳;袁浩华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起。该真空镀膜设备用冷却机构，结构设置合理，通过设置内外壳体，将冷却水管嵌入内壳体中，提高冷却效果，在外壳体上设置内小外大的进风口和风机，利用节流膨胀原理，增强风冷效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 冷却 机构 | ||
【主权项】：
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