[实用新型]一种真空镀膜设备用冷却机构

权利要求书

1.一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体(1)、内壳体(2)和出水管(12)，其特征在于：所述外壳体(1)与内壳体(2)之间形成有空隙(5)，外壳体(1)下方固定有底座(11)，外壳体(1)上设置有出风口(6)和进风口(23)，外壳体(1)侧面连接有支撑架(7)，且支撑架(7)上安装有风机(8)，所述内壳体(2)内侧设置有真空镀膜腔(3)，内壳体(2)内部安装有上侧进水管(4)、第一水管(10)、下侧进水管(16)、第二水管(18)和第三水管(22)，所述真空镀膜腔(3)内设置有冷却挡板(9)，冷却挡板(9)前端设置有防脱件(14)，冷却挡板(9)内部设置有进水腔(13)，且进水腔(13)上下两端分别与连通管(21)和第二水管(18)相连通，所述上侧进水管(4)与第一水管(10)相连通，第一水管(10)通过两通阀(24)与第三水管(22)相连，第三水管(22)通过三通阀(19)与第二水管(18)和出水管(12)连接在一起，第三水管(22)与连通管(21)连接处设置有单向阀(20)，所述出水管(12)和第二水管(18)另一端分别连接水槽(15)和下侧进水管(16)，且水槽(15)内部设置有冷却腔(17)，所述冷却腔(17)与制冷机(25)相连通，制冷机(25)两侧均设置有水泵(26)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述外壳体(1)顶面上开设有等间距分布的出风口(6)，外壳体(1)侧面上安装有呈矩阵状分布的进风口(23)，且出风口(6)结构为内大外小，进风口(23)结构为内小外大。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述空隙(5)截面呈倒“U”型，空隙(5)连通出风口(6)和进风口(23)，当风机(8)吹风时，风经进风口(23)进入空隙(5)内后从出风口(6)吹出。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述内壳体(2)底边中心处设置有下侧进水管(16)，下侧进水管(16)左右两侧交错连接有第二水管(18)，内壳体(2)顶边中部对称设置有两个上侧进水管(4)，左侧上侧进水管(4)左端与第一水管(10)相连，右侧上侧进水管(4)右端与第一水管(10)相连，且第一水管(10)与第二水管(18)相对应。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述第三水管(22)上下两端分布安装在两通阀(24)和三通阀(19)上，第三水管(22)下部与连通管(21)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述冷却挡板(9)共设置有两个，冷却挡板(9)底端对称固定在内壳体(2)底板上表面，防脱件(14)截面呈弧形，当镀膜材料加热产生的蒸汽与冷却挡板(9)后形成粉尘，防脱件(14)阻挡粉尘飘散。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用冷却机构，其特征在于：所述制冷机(25)位于外壳体(1)外部前侧，制冷机(25)左侧的水泵(26)与下侧进水管(16)连接在一起，制冷机(25)右侧的水泵(26)与上侧进水管(4)连接在一起。